Mikrosystemtechnik (Microsystems Technology)

Mikrosystemtechnik (MST) ist ein ingenieurwissenschaftliches Fach an der Schnittstelle von Elektrotechnik, Maschinenbau, Physik und Materialwissenschaft. Sie befasst sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von Mikrosystemen, in denen mikromechanische, mikrooptische, mikrofluidische und mikroelektronische Komponenten auf einem Chip oder in einem Bauteil integriert werden. Typische Produkte sind MEMS-Sensoren (Beschleunigung, Druck, Gyroskope), Lab-on-a-Chip-Systeme, Mikropumpen, Mikroaktoren sowie integrierte optische Komponenten. Das Studium umfasst zunächst Grundlagen in Mathematik, Physik, Elektrotechnik und Werkstoffkunde, danach spezialisierte Module zu Halbleitertechnologie, Dünnschicht- und Ätzverfahren, Reinraumtechnik, Sensorik und Aktorik, Mikrofluidik, Mikrooptik sowie Schaltungs- und Systementwurf. Häufig sind ausgedehnte Laborpraktika in Reinräumen Pflicht. Verwandte Studiengänge laufen unter Bezeichnungen wie Nanotechnologie, NanoEngineering, Mikrotechnik oder Sensorik. Abschlüsse sind Bachelor (B.Sc./B.Eng.) und Master (M.Sc./M.Eng.); parallel existiert die duale Ausbildung zur Mikrotechnologin/zum Mikrotechnologen. Berufsfelder liegen in der Halbleiter- und Sensorindustrie, der Automobilelektronik, der Medizintechnik (Implantate, Diagnostik), der Telekommunikation, der Luft- und Raumfahrt sowie in Forschungsinstituten (z. B. Fraunhofer-Institute). Aufgaben reichen von Prozessentwicklung und Bauelemententwurf über Test und Qualifizierung bis zur Systemintegration. Im Vergleich zur klassischen Elektrotechnik ist die Mikrosystemtechnik stärker interdisziplinär und prozesstechnologisch ausgerichtet; gegenüber der reinen Mikroelektronik kommen mechanische, fluidische und optische Funktionen hinzu.